株式会社千代田精機

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エクセレント・マークⅡシリーズEX-1000mkⅡ-P-G1、G2/EX-4000mkⅡ-P-G1、G2（パイロット式）

1次圧力：3.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:2000ℓ、5000ℓ/min・Air

Heリーク値：1X10 -7/-6Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－１０００ｍｋⅡ－Ｐ

・ＥＸ－４０００ｍｋⅡ－Ｐ

エクセレント・超高圧・シリーズ EX-TKR-50S-G1、G2、G3

1次圧力：24.0MPa以下/調整圧力2.0～15.0MPa、標準流量:50m3/min・Air

Heリーク値：1X10 -9/-8/-7Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－ＴＫＲ－５０Ｓ－Ｇ1

・ＥＸ－ＴＫＲ－５０Ｓ－Ｇ2、Ｇ3

高純度/超高純度ガス用圧力計・クリーンＭシリーズ

・ＭＡ－５０ＴＹＰＥ　φ５０／ＭＡ－６０ＴＹＰＥ　φ６０

・ＭＤ－６０ＴＹＰＥ　φ６０

バルブ、容器ニップル、パージ・システム

・容器ニップル

・リリーフ・バルブ

・パージ・システム

・ニードル・バルブ