株式会社千代田精機

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エクセレント・TDシリーズEX-20-TD、EX-100-TD（腐食性ガス用・内面特殊コーティング）

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air）

Heリーク値：1X10 -9 Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－２０－ＴＤ

・ＥＸ－１００－ＴＤ

エクセレント・PMシリーズEX-20-PM、EX-100-PM（パネル・マウント専用モデル）

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air）

Heリーク値：1X10 -9 Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－１００－ＰＭ

・ＥＸ－２０－ＰＭ

エクセレント・メガ・VCシリーズEX-M-20-VC（電解研磨品・本体接続部VCR1/4加工）

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air）

Heリーク値：5X10 -11 Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－Ｍ－２０－ＶＣ

エクセレント・マークⅡ・VCシリーズEX-20-VC（本体接続部VCR1/4加工）

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air）

Heリーク値：1X10 -9 Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－２０－ＶＣ

エクセレント・メガ・シリーズEX-M-500、EX-M-600（電解研磨品）

1次圧力：3.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air）

Heリーク値：5X10 -11 Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－Ｍ－６００

・ＥＸ－Ｍ－５００

エクセレント・マークⅡシリーズEX-500mkⅡ-G1、G2、EX-600mkⅡ-G1、G2

1次圧力：3.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air）

Heリーク値：1X10 -9/-8 Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－５００ｍｋⅡ

・ＥＸ－６００ｍｋⅡ