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2段減圧式圧力調整器
エクセレント・マークⅡシリーズEX-300mkⅡ-G2、G3/EX-400mkⅡ-G2、G3(装置・ライン/パネルマウント用 2段減圧式圧力調整器)
(1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~0.6MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
・EX-300mkⅡ-G2,G3
フロート式流量計
フロート式流量計
・CFS/CFL/CFB
フロート式流量計
コフロック(株)社製フロート式流量計
・RK-1200シリ-ズ
・RK-4400シリ-ズ
ダイヤル式流量計
ダイヤル式流量計・配管用
・レギュレ-タ-付/レギュレ-タ-無
ダイヤル式流量計
ダイヤル式流量計・パネル・マウント用
・角型/丸型/流量調整バルブ
エクセレント・メガ・シリーズEX-M-20、EX-M-100(電解研磨品)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11 Pa・m3/sec.以下
・EX-M-20
・EX-M-100
エクセレント・マークⅡシリーズEX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9/-8 Pa・m3/sec.以下
・EX-100mkⅡ
・EX-20mkⅡ
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