株式会社千代田精機

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エクセレント・メガ・シリーズEX-M-700-H、EX-M-1000-H（電解研磨品）

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ/min・Air

Heリーク値：5X10 -11Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－Ｍ－７００－Ｈ

エクセレント・マークⅡシリーズEX-700mkⅡ-H-G1、G2/EX-M-1000mkⅡ-H-G1、G2

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ/min・Air

Heリーク値：1X10 -8/-7/-6Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－１０００ｍｋⅡ－Ｈ

・ＥＸ－７００ｍｋⅡ－Ｈ

エクセレント・マークⅡシリーズEX-4000mkⅡ-H-G2

1次圧力：20.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:5000ℓ/min・Air

Heリーク値：1X10 -6Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－４０００ｍｋⅡ－Ｈ

エクセレント・メガ・シリーズEX-M-700、EX-M-1000、EX-M-4000（電解研磨品・自力式）

1次圧力：3.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air

Heリーク値：5X10 -11Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－Ｍ－４０００

・ＥＸ－Ｍ－１０００

・ＥＸ－Ｍ－７００

エクセレント・マークⅡシリーズEX-700mkⅡ-G1、G2/EX-1000mkⅡ-G1、G2/EX-4000mkⅡ-G1、G2（自力式）

1次圧力：3.0MPa以下/調整圧力0.1～1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air

Heリーク値：1X10 -8/-7/-6Pa・m3/sec.以下

・ＥＸ－１０００ｍｋⅡ

・ＥＸ－４０００ｍｋⅡ

・ＥＸ－７００ｍｋⅡ