株式会社 千代田精機
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CHIYODA SEIKI CO., LTD.
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高純度/超高純度ガス用圧力計・クリーンMシリーズ
高純度/超高純度ガス用圧力計・クリーンMシリーズ
MA-50TYPE φ50/MA-60TYPE φ60
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【特長】
1. 圧力計の生命であるブルドン管の溶接は、独自開発した特殊アルゴン溶接を行い、酸化物などの不純物の発生を防止しております。
2. 溶接から調整、包装まで、クリーンルーム内で一貫生産を行っています。
3. ブルドン管及び株の洗浄は、超音波洗浄と共に特殊洗浄方式によるクリーン洗浄(完全禁油、禁水処理)を行い、清浄度を保証しております。
4. 株の部分には、極めて機密性の高い、VCR継手を採用しており、5×10-11Pa・m3/sec.以下のHeリーク値を実現しています。5. ブルドン管、株はもちろん、ケース、内機等の主要部品は、ステンレス鋼を使用していますので、耐食性に優れています。

【用途】
①半導体製造用ガス供給システム
②超高純度ガス供給システム
③毒性ガス、腐食性ガス供給システム
④食品、医薬品の製造工程
⑤酸素ガス供給システム
⑥その他、特別に洗浄が必要とされるもの
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