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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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エクセレント・超高圧・シリーズ EX-TKR-50S-G1、G2、G3
1次圧力:24.0MPa以下/調整圧力2.0~15.0MPa、標準流量:50m3/min・Air
Heリーク値:1X10 -9/-8/-7Pa・m3/sec.以下
・EX-TKR-50S-G1
・EX-TKR-50S-G2、G3