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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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半導体製造用特殊材料ガス供給用
半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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エクセレント・メガ・VCシリーズEX-M-300(電解研磨品)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11Pa・m3/sec.以下
・EX-M-300
エクセレント・マークⅡシリーズEX-300mkⅡ-G1、G2/EX-400mkⅡ-G1、G2
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9Pa・m3/sec.以下
・EX-300mkⅡ
・EX-400mkⅡ