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圧力調整器
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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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超高圧・高純度ガス用
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1段減圧・自力式/1次圧力:20.0MPa以下、調整圧力0.1~1.0MPa
>EX-TKR-50S-G1
エクセレント・超高圧・シリーズ EX-TKR-50S-G1、G2、G3
1次圧力:24.0MPa以下/調整圧力2.0~15.0MPa、標準流量:50m3/min・Air
Heリーク値:1X10 -9/-8/-7Pa・m3/sec.以下
EX-TKR-50S-G1
【特長】
●2次側圧力が、MAX.15MPaと、超高純度・超高圧供給に対応でき、流量も50m3/h(標準状態)まで出ます。