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圧力調整器
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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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半導体製造用特殊材料ガス供給用
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1段減圧式 1次圧力:3.0MPa以下、調整圧力:0.1~1.0MPa
>EX-M-500
エクセレント・メガ・シリーズEX-M-500、EX-M-600(電解研磨品)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11 Pa・m3/sec.以下
EX-M-500
【特長】
●外部リーク 5×10-11Pa・m3/sec.以下の超機密構造。
●パーティクルを極限まで抑えた、超清浄仕上げ。
●超清浄処理を行った圧力計(クリーンM)を使用。(接ガス部は、全てEP(電解研磨・VCR継手込み)処理を施しております。)
【用途】
●超LSI製造用高純度ガスの供給システム。
●超高純度ガス, 混合ガスの供給システム。
●超清浄度, 超高純度を必要とする各種ガスシステム。
【パネル取付】
●パネル孔:Φ36.5mm
●パネル板厚:4.5mm以下
●取付ナット対辺:41mm