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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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半導体製造用特殊材料ガス供給用
半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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エクセレント・メガ・シリーズEX-M-500、EX-M-600(電解研磨品)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11 Pa・m3/sec.以下
・EX-M-500
・EX-M-600
エクセレント・マークⅡシリーズEX-500mkⅡ-G1、G2、EX-600mkⅡ-G1、G2
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9/-8 Pa・m3/sec.以下
・EX-500mkⅡ
・EX-600mkⅡ
エクセレント・TD・シリーズEX-20-TD、EX-100-TD(腐食性ガス用・内面特殊コーティング)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9Pa・m3/sec.以下
・EX-500-TD
・EX-600-TD
エクセレント・PM・シリーズEX-20-PM、EX-100-PM(パネル・マウント専用モデル)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ、150ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9Pa・m3/sec.以下
・EX-500-PM
・EX-600-PM
エクセレント・メガ・VCシリーズEX-M-500-VC(電解研磨品・本体接続部VCR1/4加工)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11Pa・m3/sec.以下
・EX-M-500-VC
エクセレント・マークⅡ・VCシリーズEX-500-VC(本体接続部VCR1/4加工)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air)
Heリーク値:1X10 -9Pa・m3/sec.以下
・EX-500-VC