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圧力調整器
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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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半導体製造用特殊材料ガス供給用
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2段減圧式 1次圧力:20.0MPa以下、調整圧力:0.1~1.0MPa
>EX-M-300
エクセレント・メガ・VCシリーズEX-M-300(電解研磨品)
1次圧力:20.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:50ℓ/min・Air)
Heリーク値:5X10 -11Pa・m3/sec.以下
EX-M-300
【特長】
EX-メガ・シリーズの特長に加えて下記の特長が有ります。
●2段減圧式を採用しており、入口圧力に変動が生じても、出口流量は安定しています。
●小流量から大流量まで、広範囲に使用できます。