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バルブ・ボックス/減圧フィルター・ユニット 製作例
高純度水素用減圧フィルター・ユニット 製作例
● タンクやカードル等のガス・ヤード内に設置し、高純度バルク・ガスを減圧後、ガス精製装置へフィルトレーション供給するユニットです。
ガス精製装置で超高純度化されたガスのマイクロ・フィルター・ユニットも製作いたします。