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バルブ・ボックス/減圧フィルター・ユニット 製作例
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バルブ・ボックス/減圧フィルター・ユニット 製作例
バルブ・ボックス製作例
● クリーン・ルーム内に設置し、シリンダー・キャビネットから受け入れた半導体用特殊ガス及び、パージ用窒素等の超高純度ガスを、複数の半導体製造装置や、除害装置、他のバルブ・ボックス等に分岐供給させる中継ユニットです。