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圧力調整器
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半導体用特殊材料ガス、高純度/超高純度キャリアガス用圧力調整器
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高純度/超高純度バルクガス供給用
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1段減圧・自力式/パイロット式 1次圧力:3.0MPa以下、調整圧力0.1~1.0MPa
>EX-4000mkⅡ
エクセレント・マークⅡシリーズEX-700mkⅡ-G1、G2/EX-1000mkⅡ-G1、G2/EX-4000mkⅡ-G1、G2(自力式)
1次圧力:3.0MPa以下/調整圧力0.1~1.0MPa、最大流量:450ℓ、2000ℓ、5000ℓ/min・Air
Heリーク値:1X10 -8/-7/-6Pa・m3/sec.以下
EX-4000mkⅡ
【特長】
●低圧主配管ラインに使用できます。
●大流量のガス、混合ガスを安定供給できます。
※高・低圧計付はオプション