【特長】
●外部リーク5×10－11Pa・m3/sec.以下の超気密構造。
●パーティクルを極限まで抑えた、超清浄仕上げ。
●超清浄処理を行った圧力計（クリーンM）を使用。（接ガス部は、全てEP（電解研磨・VCR継手込み）処理を施しています。）
●低圧主配管ラインに使用できます。
●大流量のガス、混合ガスを安定供給できます。

【用途】
●超LSI製造用高純度ガスの供給システム。
●超高純度ガス, 混合ガスの供給システム。
●超清浄度, 超高純度を必要とする各種ガスシステム。